新发售Ophiuchus！

新发售Ophiuchus！

【ACTRANS】系列新产品EFEM　『Ophiuchus)』2014年7月正式发布，这次开发的EFEM，装载上了我司特有构造的多关节机器人「ACTRANS UTM-R3700F」，既小巧又有可以实现不需要特意选择设备周围的布局。而且，在晶圆枚数处理上也是实现了在业界最高速的300枚/hour，为提高生产效率做出贡献。

■  这次发售的新产品名称

ACTRANS系类 EFEM『Ophiuchus)』

■  主要用途：用于半导体制造设备(晶圆加工关联设备、前道工序设备等)前道晶圆的搬运

■  新产品的主要特长及性能

１．本体的安装面积是业界最小(※１)的小巧型设计（宽1955mm×深度700mm 不含卡盒）。可以灵活对应工厂的布置、高效率的提高生产线。　

２．容许量可实现业界最高速度(※２)的300枚/hour，通过高速度的搬运提高生产效率。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　             

３．最大到达高度1.6m 可无需滑动轴便能访问4个port，设备侧的开口部分可以灵活的设定、可以减轻设备设计的负担。

４．搭载智能的EFEM软件，根据可以自动生成搬运顺序，可按照设备的运转状态实现最好的生产处理，由于掌握了设备中包括搬运在内的系统状态，使得保养的管理变的容易，也能够缩短因硬件构成变更等式样变更时的停机时间。

５．标准机有3port型和4port型的，robot和调准器的晶圆搭载方式可以在吸附，边缘夹持方式中选取。

■  发售时间　　　　2014年7月

■  咨询部门   　　 达谊恒精密机械（常熟）有限公司  营业部

     TEL：0512-5229-1008　FAX：0512-5229-3393

  ■  产品规格