机器人形状 |
2轴圆柱坐标型 |
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自重 |
120kg |
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可搬重量 |
15kg以下(含endeffector·holder) |
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动作范围 |
X轴 |
1740mm |
θ轴 |
330deg. |
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手臂长 |
580mm |
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动作时间 |
X轴 |
2.4sec./1740mm |
θ轴 |
2.1sec./180deg. |
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手臂水平精度(下垂) |
P-P6mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置) |
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手臂轨迹精度(蛇行) |
±3.0mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置) |
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重复位置精度 |
XYZ方向:±0.2mm以下(安装holder,从法兰盘开始580mm的位置) |
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清洁度 |
ISO Class 4 |
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耐真空度 |
1.0×10-6Pa |
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周围温度 |
真空侧::15℃~70℃ 大气侧:15℃~35℃ |
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耐振动 |
4.9m/sec.²以内(0.5G以下) |
面板搬运机械手(真空) | |||||
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可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm | ||
无Z轴 | 有Z轴 | Link | Slide | ||
3kg | G3 | SPR-801S | SPR-804S | ||
10kg | G4 | SPR-806S | |||
15kg | G4.5 | SPR-811S | SPR-8110 | ||
50kg | G5 | SPR-8109 | SPR-8501S | ||
G6 | SPR-8522 | ||||
70kg | G6 | SPR-8508 | |||
100kg | G7 | SPR-8111 | |||
150kg | G6 | SPR-8112 | SPR-8504 | ||
G6 | SPR-8537 | ||||
G7.5 | SPR-8535 | ||||
200kg | G8.5 | SPR-8534 | |||
300kg | SPR-8524 | ||||
500kg | G10 |
(■有生产实际)