达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-8504
   详细介绍
4轴圆柱坐标型
SPR-8504的特点
1 采用AC伺服马达以及最适合的加减速控制,实现高精度、高速搬运。
2 通过采用磁流体密封,可以适应高真空环境。
3 采用高刚性手臂,可以对应mask搬运等,也可以对应重物的搬运。
   参数详解 ※1

机器人形状

 4轴圆柱坐标型

重量

 3000kg

可搬质量              
(含endeffector·holder

X1

 153kg以下

X2

 153kg以下

动作范围

X

 3046.7mm

θ

 330deg.

Z

 150mm

手臂长

 920mm

动作时间       
(不含通信时间)

X

 4.0sec./3046.7mm

θ

 3.2sec./180deg.

Z

 2.3sec./150mm

手臂水平精度(下垂)

 P-P 32mm以下(安装holder,从法兰盘开始1800mm的位置)

手臂轨迹精度(蛇行)

 ±16mm以下(安装holder,从法兰盘开始1800mm的位置)

重复位置精度

 XYZ方向:±0.5mm以下(安装holder,从法兰盘开始1800mm的位置)

清洁度

 ISO Class 4

耐真空度

 1.3×10-6Pa

周围温度

真空侧::15℃~80   大气侧:15℃~35

耐振动

 4.9m/sec.²以内(0.5G以下)

面板搬运机械手(真空)
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z轴 有Z轴 Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生产实际)

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