机器人形状

 4轴圆柱坐标型

重量

 3000kg

可搬质量              
（含endeffector·holder）

X1轴

 153kg以下

X2轴

 153kg以下

动作范围

X轴

 3046.7mm

θ轴

 330deg.

Z轴

 150mm

手臂长

 920mm

动作时间      　
（不含通信时间）

X轴

 4.0sec./3046.7mm

θ轴

 3.2sec./180deg.

Z轴

 2.3sec./150mm

手臂水平精度（下垂）

 P-P 32mm以下（安装holder，从法兰盘开始1800mm的位置）

手臂轨迹精度（蛇行）

 ±16mm以下（安装holder，从法兰盘开始1800mm的位置）

重复位置精度

 XYZ方向：±0.5mm以下（安装holder，从法兰盘开始1800mm的位置）

清洁度

 ISO Class 4

耐真空度

 1.3×10^-6Pa

周围温度

真空侧：:15℃～80℃   大气侧：15℃～35℃

耐振动

 4.9m/sec.²以内(0.5G以下)