形号 |
UTV-RS2600W |
UTV-RS2620W |
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机器人形状 |
4轴圆柱坐标型 |
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动作范围 |
X轴 |
下手臂动作角度120deg. |
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θ轴 |
340deg. |
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Z轴 |
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动作速度(MAX) |
X1,X2轴 |
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θ轴 |
216deg/sec. |
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Z轴 |
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动作循环时间 |
X1,X2轴 |
1.1sec. |
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θ轴 |
2.2sec. |
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Z轴 |
1.1sec. |
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分解力 |
X轴 |
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θ轴 |
0.001deg./pulse |
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Z轴 |
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重复位置精度※2 |
± |
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清洁度 |
ISO Class 3 (ISO-14644) |
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动作压力范围 |
大气压~10-6 pa |
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可搬运重量(包含手臂) |
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周围温度 |
真空侧: |
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重量 |
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※1 各轴整体冲程所要时间。(是通过计算的理论值,不是保值。) |
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※2 20次的定位精度。包含lostmotion。(lostmotion:在任意一点上向正负方向定位时停止位置的差) |
晶圆搬运机械手(真空) | |||
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Substrate Size | Arm Model | ||
Wafer | 200~300mm |
(■有生产实际)