形号 | UTV-R2700(H) | UTV-R2730(H) | UTV-R2750(H) | ||||
机器人形状 | 2(3)轴圆柱坐标型 | ||||||
动作范围 | X轴 | 下手臂动作角度120deg. | |||||
510mm | 660mm | 720mm | |||||
θ轴 | 340deg. | ||||||
Z轴 | 20mm | ||||||
动作速度(MAX) | X轴 | 下手臂动作角度421.92deg./sec. | |||||
2504mm/sec. | 3241mm/sec. | 3535mm/sec. | |||||
θ轴 | 200deg/sec. | ||||||
Z轴 | (121mm/sec.) | ||||||
动作循环时间※1 | X轴 | 1.2sec. | |||||
θ轴 | 2.4sec. | ||||||
Z轴 | 1.0sec. | ||||||
分解力 | X轴 | 下手臂动作角度0.001deg./pulse | |||||
0.0060mm/pulse以下 | 0.0077mm/pulse以下 | 0.0084mm/pulse以下 | |||||
θ轴 | 0.001deg./pulse | ||||||
Z轴 | 0.001mm/pulse | ||||||
重复位置精度※2 | ±0.1mm | ||||||
清洁度 | ISO Class 3 (ISO-14644) | ||||||
动作压力范围 | 大气压~10-6 pa | ||||||
可搬运重量(包含手臂) | 0.7kg | ||||||
周围温度 | 真空侧:0℃~80℃ /大气侧:0℃~40℃ | ||||||
自重 | 29kg(35kg) | ||||||
※1 各轴整体冲程所要时间。(是通过计算的理论值,不是保证值。) |
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※2 20次的定位精度。包含lostmotion。(lostmotion:在任意一点上向正负方向定位时停止位置的差) |
晶圆搬运机械手(真空) | |||
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Substrate Size | Arm Model | ||
Wafer | 200~300mm |
(■有生产实际)