被搬运物体 |
以SEMI规格为准的带有定位平面的石英晶圆 使用规格:4、5、6、8英寸晶圆 |
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晶圆拿持方法 | 晶圆底面的真空吸附 | |||||||
材质 |
本体:白色耐蚀、耐酸铝 |
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连接器板:SUS | ||||||||
吸附BASE:Aluminum(铁氟龙涂层) | ||||||||
边缘缺陷 检出功能 |
最小检出尺寸 | 能够检测出晶圆外沿宽度1.0mm×深度0.2mm以上的缺口·毛刺 | ||||||
能够检测的范围 | 晶圆外沿 | |||||||
检测时的晶圆 偏心的允许值 |
半径7mm以内 | |||||||
平面定位校准时间 (包括中心定位) |
4.1sec (包括检测时间) |
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轴构成 | X轴:前后轴、Y轴:左右轴、θ轴:旋转轴 | |||||||
动作范围 | X轴 | ±7.5mm | ||||||
Y轴 | 65mm | |||||||
θ轴 | ENDLESS | |||||||
定位精度 | X轴、Y轴 | ±0.1mm | ||||||
θ轴 | ±0.2° | |||||||
控制方法 | 串联通信(RS-232C) | |||||||
并联通信(序列控制) | ||||||||
清洁度 | ISO Class3(ISO-14644) | |||||||
本体重量 | 约8kg | |||||||
必要诸元 | 真空:GAUGE压力 -80kPa一下 | |||||||
电源:DV24V、3A以下 | ||||||||
周围湿度 | 60%RH以下,无水珠 | |||||||
周围温度 | ﹢15~25℃ |