达谊恒精密机械(常熟)有限公司
客服热线0512-5229-1008

产品中心

                大气晶圆搬运机器人
                                  Substrate Size                 Arm Model                 Aligner Model
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf


OFH-4102i
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTX-RF5501RWpdf
UTM-R3700F
UTX-RF5500RPpdf
UTW-REH5500pdf
UTPX-R5500 pdf

OFH-4100
EG-303
OFH-4100i2pdf

                真空晶圆搬运机器人
                                  Substrate Size                 Arm Model
                Wafer                 200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf

                大气玻璃面板搬运机器人
                可搬重量                 LCD尺寸                 Single Arm                 Dual Arm
                3kg                 G2 SPR-902S                  
                5kg                 G3/G4 SPR-906S                  
                8kg SPR-9519
                50kg                 G5/G6                   SPR-9518
真空玻璃面板搬运机器人
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z轴 有Z轴 Link Slide
3kg G3 SPR-801S SPR-804S    
10kg G4 SPR-806S      
15kg G4.5 SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6     SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf   SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5       SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        
等离子产生用电源
周波数/输出 1kW 2kW 3kW 5kW 10kW 15kW 30kW 40kW 90kW
400kHz~1MHz帯                  
2MHz~4MHz帯                  
13.56MHz     RGA-30 RGA-50   RGA-150
/300
RGA-150
/300
RGA-400  
27~60MHz帯     AGA-30 AGA-50   FGA-150      
100~200MHz帯                  
2.45GHz SGP-10
/SGM-10
SVP-15
/SVM-15
SGP-30
/SGM-30
SGP-50
/SGM-50
         


自动整合器
周波数/输出 1kW 2kW 3kW 5kW 10kW 15kW 30kW 40kW 90kW
400kHz~1MHz帯                  
2MHz~4MHz帯                  
13.56MHz       RMN-50   RMN-200 RMN-300    
27~60MHz帯       AMN-50          
100~200MHz帯                  
2.45GHz SMA-10
/CMC-10
SMA-15
/CMC-10
SMA-30
/CMC-10
SMA-50          
DAIHEN达谊恒精密机械(常熟)有限公司 版权所有   备案号:苏ICP备13025737号     苏公网安备 32058102001225号