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大气晶圆搬运机器人

                大气晶圆搬运机器人
                                  Substrate Size                 Arm Model                 Aligner Model
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf


OFH-4102i
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTX-RF5501RWpdf
UTM-R3700F
UTX-RF5500RPpdf
UTW-REH5500pdf
UTPX-R5500 pdf

OFH-4100
EG-303
OFH-4100i2pdf

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